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작성 2021-12-16   조회: 71
제목 산업통상자원부 장관상 사업화 부문 수상
이름 운영자
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배준호 코스텍시스템 대표(사진)는 반도체 제조 공정용 웨이퍼 이송장비 및 핵심 부품 기술을 개발했다.

이 가운데 진공챔버에서 이동 가능한 쿼드 암(Quad Arm) 진공 로봇 및 리니어 트랙 기술은 원가를 절감하면서도 생산성을 약 20% 높이는 혁신 기술로 평가됐다. 복층 로드락 챔버의 정전기 제거 기술은 로드락 챔버의 공간 축소와 공기 흐름을 짧게 함으로써 펌핑 및 벤팅 속도를 줄여 생산성을 높였다. 또 장비프론트엔드모듈(EFEM) 및 로드포트모듈(LPM)에서 질소(N2) 퍼지 재생 순환 기술은 반도체 웨이퍼상 산화 방지 기능을 한층 강화했다.


4 산업통상자원부 장관상 사업화 부문 수상
운영자
2021-12-16 71
3 전자증권 전환대상 주권 등의 권리자 보호 안내
운영자
2021-11-22 92
2 임시주총을 위한 권리주주 기준일 및 주주명부 폐쇄 공고 안내
운영자
2021-08-26 202
1 임시주총을 위한 권리주주 기준일 및 주주명부 폐쇄 공고 안내
운영자
2020-08-28 683
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제목 이름 내용